26일 경기도에 따르면 램리서치는 이날 오전 용인 지곡일반산업단지에서 이한규 경기도 행정2부지사, 팀 아처(Tim Archer) 램리서치 대표이사, 박진규 산업통상자원부 제1차관, 백군기 용인시장과 기업인 30여 명이 참석한 가운데 램리서치 코리아테크놀로지센터 개소식을 열었다. 

램리서치 코리아테크놀로지센터는 약 3만㎡ 규모로, 반도체 제작에 필요한 첨단 증착 및 식각 기술을 연구 개발할 예정이다. 

경기도와 용인시는 지난 2019년 램리서치와 투자유치 업무협약을 체결한 후 전담팀을 구성하고 연구개발(R&D)센터 입지 선정, 인허가 지원 등 램리서치 코리아테크놀로지센터 설립을 지원했다. 램리서치는 준공에 행정적 지원을 아끼지 않은 경기도와 용인시에 감사패를 전달했다.

경기도는 이번 램리서치 연구소 준공으로 도와 램리서치사 간 전략적 동반관계가 더 확고해질 것으로 기대하고 있다. 

램리서치사는 현재 오산에 반도체 제조 공장을, 성남시에 반도체 판매와 유통 시설을 보유하고 있는데 이번 용인 연구개발센터 준공으로 연구와 제조, 판매로 이어지는 반도체 생태계 전 과정을 경기도에 두게 됐다. 

특히, 경기도는 램리서치가 지난 2월 한국에서 차세대반도체 핵심장비인 3D 적층 기술을 지원하는 고선택비 식각 장비를 생산한다고 밝힌 점도 주목하고 있다. 

이 장비는 차세대 D램 기술로 꼽히는 3D 적층기술을 지원하는 것으로 경기도는 램리서치가 계속해서 국내 차세대반도체 개발에 적극적으로 참여하겠다는 의사를 밝힌 것이어서 램리서치의 이번 연구소 개소가 더욱 의미 있다고 설명했다. 

이한규 경기도 행정2부지사는 “램리서치 코리아테크놀로지센터 준공으로 경기도는 삼성전자(기흥‧화성‧평택)와 SK하이닉스(이천‧용인), 램리서치 코리아테크놀로지센터로 이어지는 세계 최대 규모의 반도체 클러스터를 보유하게 됐다”면서 “램리서치 코리아테크놀로지센터가 국내 중소기업과 상생협력하여 장비 국산화를 촉진하고, 한국 반도체산업 생태계를 강화하려는 경기도의 노력에 큰 힘이 되리라 믿는다”고 말했다. 

한편, 이번 램리서치의 한국 연구개발 투자로 세계적인 반도체장비 제조회사들이 경기도 내 연구 및 제조시설 설립을 문의하고 있어, 미국, 유럽, 일본의 핵심 장비업체들의 후속 투자가 기대된다.

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