±èµ¿¿¬ °æ±âµµÁö»ç°¡ ¹Ì±¹¿¡ ÀÌ¾î ¿À½ºÆ®¸®¾Æ¿Í ³×´ú¶õµå µî À¯·´À» ¹æ¹®ÇØ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ±Û·Î¹ú Çù·Â °È, ÷´Ü»ê¾÷ ÅõÀÚÀ¯Ä¡ ¼¼ÀÏÁî Çຸ¸¦ À̾´Ù.
°æ±âµµ´Â 10¿ù 27ÀϺÎÅÍ 11¿ù 2ÀϱîÁö ±èµ¿¿¬ °æ±âµµÁö»ç¸¦ ´ÜÀåÀ¸·Î ÇÑ °æ±âµµ´ëÇ¥´ÜÀÌ ÁߺΠÀ¯·´¿¡ À§Ä¡ÇÑ ¿À½ºÆ®¸®¾Æ¿Í ³×´ú¶õµå¸¦ ¹æ¹®ÇØ °æ±âµµ ±â¾÷µéÀÇ À¯·´ ÁøÃâÀ» À§ÇÑ °¡±³¸¦ ³õÀ» ¿¹Á¤À̶ó°í 25ÀÏ ¹àÇû´Ù.
±èµ¿¿¬ Áö»ç´Â Áö³ 15ÀϺÎÅÍ 21ÀϱîÁö 5¹Ú 7ÀÏ°£ ¹Ì±¹ ´º¿å µî µ¿ºÎÁö¿ªÀ» ¹æ¹®ÇØ Ä³½Ã È£Äà ´º¿å ÁÖÁö»ç, ±Û·» ¿µÅ² ¹öÁö´Ï¾Æ ÁÖÁö»ç¿Í Çù·Â°ü°è¸¦ ±¸ÃàÇÏ´Â ÇÑÆí ÃÑ 2Á¶ 1õ¾ï ¿øÀÇ ÅõÀÚ À¯Ä¡¸¦ ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
¿ì¼± ³×´ú¶õµå¿¡¼ ¼¼°èÀû ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷ÀÎ ¿¡ÀÌ¿¡½º¿¥(ASM)°ú ¿¡ÀÌ¿¡½º¿¥¿¤(ASML)ÀÇ º»»ç¸¦ °¢°¢ ¹æ¹®ÇØ ÅõÀÚÇù·Â ¹æ¾È µîÀ» ³íÀÇÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
1968³â ¼³¸³µÈ ASMÀº ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¿øÀÚÃþ ÁõÂø±â¼ú(ALD)±â¼ú ½ÃÀåÀÇ ¸®´õ·Î ¿¬¸ÅÃâ 3Á¶ 8õ¾ï ¿ø ±Ô¸ðÀÇ ¼¼°èÀû ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷ÀÌ´Ù.
ASMLÀº 1984³â ¼³¸³ÇØ ¿¬¸ÅÃâ 276¾ï À¯·Î(2023³â ±âÁØ, ¾à 40Á¶ ¿ø)¸¦ ±â·ÏÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÇٽɰøÁ¤ÀÇ ÇϳªÀÎ ¡®³ë±¤(Lithography)¡¯ ºÐ¾ß ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Àü¼¼°è 1À§ ±â¾÷ÀÌ´Ù. À¯ÀÏÇÏ°Ô Ã·´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤) Àåºñ°¡ »ý»ê °¡´ÉÇÏ´Ù.
÷´Ü»ê¾÷ µî ±Û·Î¹ú Çù·Âµµ °ÈÇÑ´Ù. ¡®Áß¼Ò±â¾÷ °±¹¡¯ ¿À½ºÆ®¸®¾ÆÀÇ ³ëµ¿°æÁ¦ºÎ Àå°üÀ» ¸¸³ °æÁ¦¡¤»ê¾÷ µî ºÐ¾ßº° Çù·Â È®´ë¸¦ ¸ð»öÇÏ°í, ³×´ú¶õµåÀÇ ¡®Ã·´Ü»ê¾÷ Áß½ÉÁö¡¯ ³ë¸£Æ®ºê¶ó¹ÝÆ®ÁÖ¿Í ½Å±Ô ¿ìÈ£Çù·ÂÀ» ü°áÇÑ´Ù.
ÀÌ¿Ü Àü¼¼°è °æÁ¦ÀÎ ¾à 3õ ¸íÀÌ Âü°¡ÇÏ´Â ¡®Á¦28Â÷ ¼¼°èÇÑÀΰæÁ¦Àδëȸ¡¯ °³È¸½Ä¿¡ ±âÁ¶°¿¬ÀÚ·Î ³ª¼³ ¿¹Á¤À̸ç Çà»çÀå¿¡ ¸¶·ÃµÈ °æ±âµµ°üÀ» Áß½ÉÀ¸·Î µµ³» ±â¾÷ÀÇ À¯·´ ÁøÃâÀÇ ¸¶Áß¹° ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
°æ±âµµ °ü°èÀÚ´Â ¡°À¯·´ Á߽ɿ¡ À§Ä¡ÇÑ ¿À½ºÆ®¸®¾Æ¿¡¼´Â ÇöÁö Á¤¡¤Àç°è Àλ縦 ¸¸³ª °æ±âµµ ±â¾÷ÀÇ À¯·´ÁøÃâ ÇØ°á»ç ¿ªÇÒÀ» ¸ÃÀ» °ÍÀ̸ç, ³×´ú¶õµå¿¡¼´Â ±¹Á¦±³·ù °È»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷À» ã¾Æ ÅõÀÚÇù·ÂÀ» Àû±Ø ³íÀÇÇÏ°Ú´Ù¡±¸ç ¡°Áö³ ¹Ì±¹ ÃâÀå¿¡ À̾î ÀÇ¹Ì ÀÖ´Â ¼º°ú¸¦ À̾ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ '°áÁ¤Àû Áø½Çº¸µµ¿¡ °ÇÑ ¾ð·Ð ¨× °æ¿øÀϺ¸', ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>